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    首页 新闻资讯 等离子清洗 等离子清洗机中频、射频、微波电源的区别!

    等离子清洗机中频、射频、微波电源的区别!

    等离子清洗机常见电源的频率有3种,40KHz,13.56MHz,2.45GHz,也就是平时大家据说的中频、射频、微波。3种频率的电源各有其优势,各有各的频率,今天我给大家普及一些关于等离子清洗机电源关于频率方面的知识


    40KHz的电源就是大家平时所称的中频电源,简单的来说就是能量高,但是等离子的密度较低。中频电源在真空等离子清洗上被选用的基本上是真空腔体体积较大(一般大于100L,电极板数量较多,因为相对于射频中频在大功率电源比如5000W、10KW、20KW本身性能更稳定、对于产生的等离子体中分子、离子获得的动能更大、渗透性更好、偏重利用物理反应

    此外由于中频电源直接输出到电极板的电压较高,其自偏压较高,产生的负自偏压引起了正离子的功率吸收,这也会直接引起电极板的温度升高;同时由于在这过程中,离子会吸收部分的功率,因此用于电离的电子的功率吸收就与相应的减少了,从而造成等离子体密度的较低和离子的能量较高,工艺处理温度也会稍高。


    射频电源的功率都比较低,在真空等离子清洗机上被选用的基本上是真空腔体体积较小的设备,相对于中频来说因为它频率高、虽然分子、离子获得的动能没有中频的高,但是能量的密度高,就处理效率来讲还是明显优于中频而且其物理反应和化学反应都表现很好


    射频等离子清洗机在射频客性耦合方式的放电过程中,电极板产生的自偏压受到放电气压的影响,自偏压较小,电子的功率吸收主要来自于与电极板表面的振荡鞘层相互作用。因此,射频等离子清洗设备的激发频率越高电子的功率吸收也会相对越高,相应的离子轰击的能量就会降低。


    而说到微波等离子清洗机放电,这种清洗没有自偏压,离子浓度高,离子能量低,主要有两种方式,即表面波型和电子回旋共振型,前者一般用于商业清洗,是通过辐射微波电磁场直接将气体击穿实现放电,其中并没有离子的加速作用,其电子密度较高,但通常要求放电气压高,从而会引起等离子体局域化比较严重的情况,不利于纵深清洗和多层面的大尺度的清洗处理,此外,微波等离子清洗机也不适合对一些精密的电子元器件进行处理。现在微波式的等离子目前真空腔体的体积做不大,技术还不够成熟一般只能做到几升的容积,用于试验室内)

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